基本信息

（MEMS）即微機電系統（Micro-Electro-Mechanical Systems），是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的21世紀前沿技術。隨著技術的發展和產業的成熟，MEMS已經作為一種基本加工工藝和制造理念，滲入到高科技領域及產品的方方面面。在消費電子、物聯網、石油勘探、開采、環境監測、醫療、生化、汽車工業、航空航天以及國家安全等領域，MEMS具有巨大的市場需求和國產化需要。
作為中國最專業、知名度最高、最權威的MEMS展覽會，CHINA MEMS2018取得了極大的成功。專業觀眾集中在半導體、汽車、電子制造、消費類電子、軍工、航空航天、傳感器、物聯網等多個領域。國際專業觀眾來自28個國際和地區。全球知名的MEMS應用與代工廠商、設備廠商、MEMS重點實驗室專家及科技部863計劃微納制造技術主題專家參加了我們的展出和高層論壇。
我們期待更多的企業參加我們的展會與論壇，進行同行業間的合作與交流，在展示形象、拓展市場的同時，尋求合作伙伴和發展商機。同時，也希望通過我們的努力使貴公司能夠在此屆展會與論壇上取得最大的收獲！
同期會議：中國MEMS制造大會，China MEMS 2019

展品范圍

MEMS 加工設備
薄膜成形（汽相淀積、濺射、CVD、覆鍍；曝光系統、蝕刻技術；防腐處理；刻蝕；晶圓鍵合；切割；芯片/導線焊接；封裝；微成形 (注射, 熱壓)；其他生產設備
納米壓印技術
微納米模型；納米壓印生產設備
納米機械
微制程技術
超精度納米機械工藝；超精密加工, 微制造；表面微加工；精細鉆孔；微觀切割；雷射、離子脈沖加工；聚焦離子束系統；微放電加工；超聲波設備等
分析與檢測儀器
光罩缺陷檢測、封裝檢測、表面分析儀器、粗糙度儀、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測量系統；顯微鏡：光學顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀；檢漏儀器、靜電負離子空氣凈化機；氣體分析及檢測、分析和測量系統
軟件建模
設計工具、仿真軟件、CAD & CAE分析軟件
MEMS 代工服務
仿真設計、原型測試、產品開發、量產；其他代工服務：圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍
材料
壓電薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、抗壓材料、附著材料、保護材料；碳納米管、藍寶石、聚合物、陶瓷；LTCC 基板Glass substrate、SiC；磁性材料、鐵電性材料
生物技術
與醫療應用
MEMS 在醫療處理及診斷方面的應用、DDS、納米膠囊；尖端DNA & RNA 技術、微反應器、微流引導等
MEMS 器件
光學MEMS (反射, 光量開關, 掃描等)；射頻MEMS (開關，振蕩器，過濾)；MEMS物理傳感器 (加速傳感器，速率傳感器，壓力傳感器，氣體傳感器，溫度傳感器)；微射流（微流引導，微感應器等）；MEMS執行器（燈，泵）；MEMS電能（燃料電池，微發電機等）；生物/化學MEMS（DNA/RNA技術，化學檢測等）；高復合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一體化)
MEMS 應用
產品 (麥克風,顯示等)；超微型機械人裝置、微型工廠等；傳感器網絡；能量收集

主辦信息

指導單位：
中國科學技術協會
中國科學院
主辦單位：
中國微米納米技術學會
中國半導體行業協會MEMS分會
中國材料研究學會納米材料與器件分會
合作伙伴：
中國半導體行業協會
中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
中國科學院上海微系統與信息技術研究所
蘇州中科院產業技術創新與育成中心
承辦單位：
江蘇省納米技術產業創新中心
中國半導體行業協會MEMS分會
上海卓格展覽服務有限公司

聯系信息

參展聯系
手機：13584824068
郵箱：wancd@sipac.gov.cn